Instrumentação 05 Nov 2026

MFC | MEMS — Controlador de Vazão Mássica de Gases: Tecnologia e Integração Digital

Plataforma compacta de medição e controle em malha fechada que reúne sensor MEMS, eletrônica digital e válvula proporcional eletromagnética em um único instrumento com precisão de ±1,0% SP e relação de controle 100:1.

A linha de instrumentação MFC | MEMS da Prime Products oferece uma plataforma compacta de medição e controle em malha fechada para gases industriais, especiais e analíticos. O controlador reúne sensor de vazão MEMS, eletrônica digital e válvula proporcional eletromagnética em um único instrumento de alta precisão.

100:1
Faixa de Controle (Turndown)
< 1,5 s
Resposta de Controle (T90)
< 50 ms
Resposta de Medição

01 / Princípio de Operação: Medição e Controle em Malha Fechada

O sensor térmico microestruturado (MEMS) monitora continuamente o fluxo mássico de gás através de um elemento de bypass laminar. O controlador compara a medição em tempo real ao setpoint definido e ajusta instantaneamente a válvula proporcional eletromagnética para regular a vazão com estabilidade e repetibilidade.

Etapa 01

MEDIR

Sensor MEMS de resposta rápida (<50 ms) e bypass laminar para escoamento estável.

Etapa 02

PROCESSAR

Algoritmos de linearização e processamento de sinal digital em malha fechada.

Etapa 03

CONTROLAR

Válvula proporcional eletromagnética integrada (NC) com resposta T90 < 1,5 s.

Vantagens Operacionais

  • Estabilidade do ponto zero e repetibilidade: excelente desempenho em baixas e altas vazões graças à relação de controle de 100:1.
  • Medição e regulagem integradas: elimina a necessidade de medidor e válvula de controle separados na linha de gás.
  • Interface local e remota: leitura local instantânea da vazão e totalização acumulada diretamente no display LCD, além de comunicação digital RS485 / Modbus RTU e saída analógica.

02 / Especificações Técnicas do Controlador

Parâmetro Especificação
Alimentação elétrica24 Vcc / 2,5 W
Precisão do controle±1,0% do SP (Setpoint)
Precisão de medição (até 50 L/min)1% FS
Precisão de medição (> 50 L/min)1,5% FS
Relação de controle (Turndown)100:1
Resposta do controle< 1,5 s (T90)
Resposta da medição< 50 ms
Temperatura ambiente de operação-10 a +55 °C
Comunicação digitalRS485 / Modbus RTU
Interface analógica4–20 mA ou 1–5 V*
Conexões ao processoG1/4 ou PT1/2 fêmea
Válvula / Grau de proteçãoNormalmente Fechada (NC) / IP40
Nota técnica: A documentação contempla configurações de 50, 100 e 300 SLPM. Faixas de vazão, pressão e interfaces devem ser validadas tecnicamente para cada aplicação e gás de processo.

03 / Aplicações e Integração de Sistemas

  • Farma & Biotecnologia: Pesquisa, desenvolvimento, biorreatores e controle de atmosfera em processos.
  • Semicondutores: Instrumentação de processos eletrônicos e deposição controlada.
  • Laboratórios e P&D: Bancadas de ensaios, mistura dinâmica de gases e sistemas analíticos.
  • Gases Industriais / OEM: Alimentação controlada em máquinas especiais, skids e fornos contínuos.

Escopo Engenharia + Instrumentação Prime Products

Além do fornecimento do instrumento, a Prime Products apoia na Seleção Técnica (parâmetros, compatibilidade e faixa de vazão), Integração (comunicação direta MFC / RS485 com CLP / IHM e monitoramento) e Implementação (suporte a instalações de redes de gases e comissionamento).

Informações para cotação: Informar tipo de gás, vazões mínima/nominal/máxima, pressão de entrada e saída, pureza requerida, sinais de controle (Modbus / 4–20 mA / 1–5 V) e tipo de conexão.

Galeria Técnica

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