Instrumentação 05 Nov 2026

MFC | MEMS — Controlador de Flujo Másico de Gases: Tecnología e Integración Digital

Plataforma compacta de medición y control en lazo cerrado que integra sensor MEMS, electrónica digital y válvula proporcional electromagnética en un único instrumento con precisión de ±1,0% SP y relación de control 100:1.

La línea de instrumentación MFC | MEMS de Prime Products ofrece una plataforma compacta de medición y control en lazo cerrado para gases industriales, especiales y analíticos. El controlador integra sensor de flujo MEMS, electrónica digital y válvula proporcional electromagnética en un único instrumento de alta precisión.

100:1
Rango de Control (Turndown)
< 1,5 s
Respuesta de Control (T90)
< 50 ms
Respuesta de Medición

01 / Principio de Operación: Medición y Control en Lazo Cerrado

El sensor térmico microestructurado (MEMS) monitorea continuamente el flujo másico de gas a través de un elemento de bypass laminar. El controlador compara la medición en tiempo real con el setpoint definido y ajusta instantáneamente la válvula proporcional electromagnética para regular el caudal con estabilidad y repetibilidad.

Etapa 01

MEDIR

Sensor MEMS de respuesta rápida (<50 ms) y bypass laminar para flujo estable.

Etapa 02

PROCESAR

Algoritmos de linealización y procesamiento de señal digital en lazo cerrado.

Etapa 03

CONTROLAR

Válvula proporcional electromagnética integrada (NC) con respuesta T90 < 1,5 s.

Ventajas Operativas

  • Estabilidad del punto cero y repetibilidad: excelente desempeño en bajos y altos caudales gracias a la relación de control de 100:1.
  • Medición y regulación integradas: elimina la necesidad de medidor y válvula de control separados en la línea de gas.
  • Interfaz local y remota: lectura local instantánea del caudal y totalización acumulada en la pantalla LCD, además de comunicación digital RS485 / Modbus RTU y salida analógica.

02 / Especificaciones Técnicas del Controlador

Parámetro Especificación
Alimentación eléctrica24 Vcc / 2,5 W
Precisión del control±1,0% del SP (Setpoint)
Precisión de medición (hasta 50 L/min)1% FS
Precisión de medición (> 50 L/min)1,5% FS
Relación de control (Turndown)100:1
Respuesta del control< 1,5 s (T90)
Respuesta de la medición< 50 ms
Temperatura ambiente de operación-10 a +55 °C
Comunicación digitalRS485 / Modbus RTU
Interfaz analógica4–20 mA o 1–5 V*
Conexiones a procesoG1/4 o PT1/2 hembra
Válvula / Grado de protecciónNormalmente Cerrada (NC) / IP40
Nota técnica: La documentación contempla configuraciones de 50, 100 y 300 SLPM. Los rangos de caudal, presión e interfaces deben ser validados técnicamente para cada aplicación y gas de proceso.

03 / Aplicaciones e Integración de Sistemas

  • Farma y Biotecnología: Investigación, desarrollo, biorreactores y control de atmósfera en procesos.
  • Semiconductores: Instrumentación de procesos electrónicos y deposición controlada.
  • Laboratorios e I+D: Bancos de ensayo, mezcla dinámica de gases y sistemas analíticos.
  • Gases Industriales / OEM: Alimentación controlada en máquinas especiales, skids y hornos continuos.

Alcance Ingeniería + Instrumentación Prime Products

Además del suministro del instrumento, Prime Products apoya en la Selección Técnica (parámetros, compatibilidad y rango de caudal), Integración (comunicación directa MFC / RS485 con PLC / HMI y monitoreo) e Implementación (soporte a instalaciones de redes de gases y comisionamiento).

Información para cotización: Informar tipo de gas, caudales mínimo/nominal/máximo, presión de entrada y salida, pureza requerida, señales de control (Modbus / 4–20 mA / 1–5 V) y tipo de conexión.

Galería Técnica

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